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マスフローコントローラー 10SLM Ar 1個 C1020-4S2-10L-Ar

マスフローコントローラー 10SLM Ar 1個 C1020-4S2-10L-Ar

マスフローコントローラー 10SLM Ar 1個 C1020-4S2-10L-Ar

マスフローコントローラー 10SLM Ar 1個 C1020-4S2-10L-Ar

商品説明・詳細
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商品情報

●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します（30秒以上のインターバルが必要）。
●流量（SLM）：10
●ガス：Ar
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●再現性：±0.2％FS
●流量制御範囲：5～100％FS
●流体：気体
●使用可能温度：5～50℃　85%RH以下
●応答性：6sec
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理：機械加工仕上げ
●継手：1/4in.SWL相当
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/O　ノーマルオープン
●駆動電源：+15VDC±5%　60mA、－15VDC±5%　150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：160×33.6×105mm

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