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エステックマスフローコントローラ SEC-E50MK3

エステックマスフローコントローラ SEC-E50MK3

エステックマスフローコントローラ SEC-E50MK3

商品説明・詳細
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商品情報

【画像はイメージです】
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■マスフローコントローラ SEC-E50MK3の特長

微小流量から大流量まで対応したべーシックモデル
±1.0％フルスケール以内の高精度,流量設定値まで1秒以内の高速応答
オートゼロアジャスト機能搭載で高い信頼性
対応ガス種：非腐食性ガス(N2,O2,Air,H2,Ar,Heに対応)
流量制御範囲：2～100％F.S.
流量制度：±1％F.S.
使用環境温度：5～50℃(精度保証15～35℃)
応答性：1秒以内(T98)
動作差圧：50～300kPa(10SCCM～5SLM)(d),100～300kPa(10～30SLM)(d)
外部リークレート：1×10-10Pa・m3/s(He)以下
流量設定信号：0.1～5VDC/2～100％F.S.
流量出力信号：0～5VDC(0～100%F.S.)
駆動電源：+15VDC ±5％ 50mA,－15VDC ±5％ 150mA(3VA)
接ガス部材質：SUS316,フッ素ゴム,PTFE,磁性ステンレス
標準継手：1/4Swagelok,VCR

※専用電源ユニット(PE-D20),接続ケーブル(SC-EDH-1M,2M,3M,5M,10M)も別途ご用意がございます為お問合せ下さい

※E50MK3は,ガス種限定モデル(N2,O2,Air,H2,Ar,Heに対応)です

※検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図は有償です。お問合せ下さい

※ご注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を指定下さい

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