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マスフローコントローラー MC-11RC-4SWLR4A0A0-10

マスフローコントローラー MC-11RC-4SWLR4A0A0-10

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商品説明・詳細
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商品情報

【画像はイメージです】
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■マスフローコントローラ MC-10シリーズ MC-11RC-4SWLR4A0A0-10の特長

幅広い流量域をカバーしながら、低価格・短納期を実現しました。
周囲温度補償方式サーマルセンサを採用し、センサ温度を低温にできるため長期安定性に優れています。
ガス種、最大流量を変更できるバリアブルレンジ機能搭載
流量レンジ(N2、at0℃、1atm)：0.16～20L/min
変更可能最大流量レンジ：8～20L/min
対象ガス：非腐食性ガス(N2、O2、Air、H2、Ar、He、CO2、CH4、C3H8など)
最小制御流量：フルスケールの2％
測定精度：±1.0％F.S.
応答時間：1 sec以下
再現性：±0.2％F.S.
必要差圧：100～300kPaD(～30SLM)、200～300kPaD(31SLM～)
耐圧：1MPa
材質：接ガス部：SUS316L、PTFE、磁性ステンレス、シール材：フッ素ゴム
継手：1/4SWL相当
電源：±15VDC(+15V 100mA、-15V 200mA)

※継手が1/4VCR相当、Rc1/4タイプもございます。お問合せ下さい
※電源ユニットは±15V 入出力0～5Vの物を別途ご用意下さい。専用電源もございます
※ご注文時に出荷設定のガス種・フルスケール流量を必ずご指定下さい

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